モデル | YRi-V | ||
適用基板 | L610 × W610mm(最大)からL50×W50mm(最小)(シングルレーン)L750mmの長尺PCBが利用可能(オプション) | ||
持ち込める基板高さ | トップ:45mm、ボトム:85mm(シングルレーン) | ||
最大3D測定高さ | 25ミリメートル | ||
ピクセル数 | 12メガピクセル | ||
4アングルカメラの画素数 | 20メガピクセル | ||
3D検査速度(最適条件下で) 4プロジェクション | 12μmの分解能 | 7μmの分解能 | 5μmの分解能 |
56.8cm²/s | 19.6cm²/s | 10.1cm²/s | |
外形寸法(突起部を除く) | 全長1,252 x 幅1,497 x 高さ1,614mm | ||
重量 | 1,480キロ |
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